양자 핵심 장비 '전자빔리소그래피' 춘천 한림대에 구축

[이뉴스투데이 강원취재본부 김경석 기자] 강원 춘천시 한림대 산학협력관에 양자 연구의 핵심 중 하나인 전자빔리소그래피(EBL) 장비가 전국 두 번째로 구축된다. 

19일 시에 따르면 지난 9일 EBL 장비가 한림대로 운송 완료돼 설치에 들어갔다. 

해당 장비는 시와 도가 함께 총 30억원의 예산으로 강원테크노파크에 위탁 추진해왔다. 

대전 한국전자통신연구원(ETRI)에 이어 전국에서 두 번째다.

EBL 장비는 다양한 형태의 양자소자를 시험 제작할 수 있을 뿐 아니라 분석 기능까지 수행하는 반도체 공정 과정 중 식각공정의 핵심이다. 

식각공정은 화학 약품의 부식 작용을 이용해 반도체 제작의 바탕이 되는 소재인 웨이퍼의 특정 물질을 제거하는 작업이다.

설치에는 약 6주가 소요되며 4~5월 중 장비의 본격 가동을 알리기 위한 '나노융합팹' 개소식을 개최할 예정이다. 

대학 내 들어서는 공공 양자 연구팹은 외부 양자기술분야 연구 수요를 충족시키고 지역 내 양자 산업을 활성화하기 위한 사업을 추진한다. 

또 양자기술 고도화를 통해 첨단바이오 신산업 육성과 정보통신기술 혁신 추진에 박차를 가해 연구개발특구의 특화분야로 육성할 예정이다. 

시 관계자는 "이번 양자 정보 산업 인프라 구축을 발판 삼아 기술개발과 인력양성을 통해 향후 양자 클러스터 유치에 입지를 다져 민선8기 시정 목표인 첨단 지식산업도시 조성을 위한 교두보 역할에 힘쓰겠다"고 말했다.